이 기계는 많은 특허 기술을 포함하고 있다. 리소그래피 기계 자체는 특허 제품이며 광원, 마스크, 리소그래피, 탄화 규소와 같은 많은 특허 기술을 포함하고 있습니다. 이러한 부품과 기술은 이미 특허로 보호되어 지적 재산권 제품에 속한다. 요컨대, 리소그래피 기계는 하이테크 산업이자 특허 집약적인 산업이다. 리소그래피 기계의 특허 보호 및 적용은 무시할 수 없는 중요한 문제이며 기업과 국가의 기술 혁신과 발전에 큰 영향을 미칩니다.