1. 수소화 비정질 실리콘 질화물 박막의 저온 고속 증착 방법, 국가는 특허 2 를 발명했다. 저온에서 수소화 나노 탄화 실리콘 박막을 준비하는 방법, 국가가 특허 3 을 발명하다. 나선파 플라즈마는 화학기상침착장치를 증강시키고, 국가는 특허를 발명했다.