如果只是就膜厚仪测试来讲的话，真空镀膜和光学镀膜的区别就是：

1、真空镀膜：一般TiN,CrN，TiC，ZrN，电镀出来的厚度大概是3~5微米。一般情况真空镀膜的厚度是在设备上测试不出来了；

2、光学镀膜的膜厚测试可以在镀膜机的中间顶上装置膜厚测试仪即可。

最早的是光控测试，现在一般用晶控（晶振片）使用的是晶振片震动的频率来测试镀膜的厚度。不同膜层的厚度不同。