三乙基硅烷水分可以用红外光谱法、气相色谱法。

1、红外光谱法：红外光谱可以用来检测三乙基硅烷中的水分含量。通过测量样品在红外光谱范围内的吸收峰，可以确定其中水分的含量。

2气相色谱法：气相色谱也可以用来测量有机物中的水分含量。该方法通过将三乙基硅烷样品注入气相色谱仪中，利用色谱柱分离样品中的组分，并通过检测水分的峰值来确定含量。