微米级、纳米级的薄膜，可以用薄膜厚度测量仪AF-3000系列测量；

AF系列精度达0.1nm，可测10层膜的膜厚，还支持客制化，可离线/在线/Mapping等多场景应用。

AF系列采用的是分光干涉原理，从测量原理来看，只能测透光或半透光的薄膜，理论上来说金属和类金属化合物这类不透光材质的薄膜，是无法检测的。

但是如果这个薄膜薄到一定程度，部分材质的薄膜会呈现透光性，这时，薄膜厚度测量仪便可测量出金属材质薄膜和类金属化合物薄膜的厚度，AF系列也测试过很多不透光材质的薄膜，如铬、镍、钛等。

镍膜膜厚测量结果

但不同材质、不同厚度的金属薄膜和类金属化合物薄膜，对不同波长的光是否呈现透光性是不确定的。AF系列采用的是氘灯和钨卤素灯，最大光谱波长覆盖180nm~2400nm，若是有什么不透光材质薄膜需求检测，AF系列也可以帮忙做一下测试，看看可行性。

若不透光材质的薄膜在产品上不是全覆盖的，也可以采用白光干涉仪AM-7000系列进行检测，AM系列精度更高，最高可达0.03nm。

材料涂层厚度测量