首先不同行业对精密的定义不甚一样。其中主要设计的概念包括精度，分辨率和重复性。精度也称线性度，或者绝对误差。指传感器测量值偏离理论真实值的最大偏差。分辨率指传感器能够产生输出变化所需的最小位移变化量。重复性指传感器反复测量同一位置，测量值之间的变化量。高端精密电容位移传感器，精度可达纳米级别。分辨率会更小，重复性很大程度上取决于传感器是否有好的温度补偿功能和环境的稳定性。电容传感器目前国际上比较高端的牌子有德国米铱和美国MTI, 当然价格也会相对高一些。如果是真的需要超高性能的领域，如精密零件的测量，精密机构的移动（如光刻机定位）等，还是要采用高端的传感器。