复印机的发明人查斯特·卡尔森(Chester Carlson，又译切斯特·卡尔森)，原本是一位专利律师，兼职研究员及发明家。他在纽约专利办公室的工作需要复制大量重要文件。卡尔森患有关节炎，视复制文件为痛苦及单调的工作。这鼓励了他进行有关Photoconductivity的实验，并估计可以最简单地制作复印本。卡尔迅在家中厨房进行Electrophotography实验，1938年为过程技术申请专利。他使用以硫磺掩盖的锌片制作出首份复印产品。他使用一个覆有硫磺的锌板制造了第一个“复印机”。文字“10-22-38 Astoria”印在一个显微幻灯片上，这个幻灯片放在硫磺上进行强光照射。幻灯片拿走后，那些文字的镜像就留在了硫磺上。卡尔逊打算将他的发明出售给一些公司，但是由于这个处理过程还不成熟所以没能取得成效。

在那个时代，大量的复制工作使用炭纸或者复制机来完成，人们对于电子复印机没有强烈的需求。在1939年到1944年间，卡尔逊被包括IBM和通用电气在内的20多个公司拒绝，没有一家认为复印机会有大量的市场需求。 1944年，一个位于俄亥俄州哥伦布的非盈利组织与卡尔逊签订合同用来完善他的新工艺。在随后的五年时间里，这个机构进行了许多试验以改进电子照相工艺。在1947年，Haloid（一个位于纽约的当时制造销售相纸的小型组织）接洽Battelle以获得授权来开发销售基于这项技术的复印机。

Haloid意识到“电子照相”这个词过于复杂并且没有很好的记忆性。在咨询过俄亥俄州立大学一位经典语言教授之后，Haloid和卡尔森将这个过程的名字更改为“Xerography”，它由希腊语中的“干写”一词派生而来。Haloid决定将新的复印机称为“施乐”，在1948年施乐成为商标。 20世纪初，文件图纸的复印主要用蓝图法和重氮法。重氮法较蓝图法方便、迅速，得到广泛的应用。后来又出现了染料转印、银盐扩散转印和热敏复印等多种复印方式。

1938年，美国的卡尔森将一块涂有硫磺的锌板用棉布在暗室中摩擦，使之带电，然后在上面覆盖以带有图像的透明原稿，曝光之后撒上石松粉末即显示出原稿图像。这是静电复印的原始方式。

1950年，以硒作为光导体，用手工操作的第一台普通纸静电复印机问世；1959年又出现了性能更为完善的914型复印机。自此以后，复印机的研究和生产发展很快。静电复印已成为应用最广的复印方法。

60年代开始了彩色复印的研究，所用方法基本上为三基色分解，另加黑色后成为四色复印。70年代后期，在第三次国际静电摄影会议上发表了用光电泳方法一次彩色成像的研究报告，这比以前所采用的方法又前进了一步。到了九十年代又出现了激光彩色复印机。 1949年，施乐公司开发了第一个称为型号A的静电图像复印机。施乐公司取得了如此大的成功以至于复印技术被大众称为“Xeroxing”，施乐公司积极应对以防止“xerox”成为一个通用商标。“Xerox”在一些字典中作为复印的同义词出现，这导致施乐公司发出信函和广告要求他们更改这些条目，并且要求人们不要这样使用“Xerox”。但是，仅仅在北美地区出现了这种情况。例如，在不列颠群岛“photocopying”远比“Xeroxing”使用更为普遍，这或许是由于在复印技术开始流行之后来自日本和欧洲制造商的复印机数量远远超过施乐公司的产品。在一些语言中使用混合词汇，如在波兰语中广泛地使用kserokopia（“xerocopy”），尽管施乐公司商标的复印机所占市场份额很小。

随着技术进步诞生了静电复印技术，首先在硒鼓上生成一个高对比度的静电影像，然后一种可熔化的塑料粉末（称为墨粉）转送到普通纸上，经过加热熔化到纸张上，这个过程类似于激光打印机中使用的技术。技术进步带来了彩色复印和静电复印艺术在1970年代和1980年代的发展。

一些市面上作为复印机销售的产品使用喷墨或者胶片转印技术取代了基于硒鼓的工作过程。

在二十世纪五十年代早期，RCA（美国无线电公司）开发了一系列的称为Electrofax的工艺，使用这种工艺图像直接在特殊的有覆层的纸上生成，使用液体的墨粉进行着色。