低温泵，根据前面对于真空泵的介绍，属于真空泵中气体粘合产生真空的泵。

它的工作原理如下，

一般，低温泵会和某个密闭腔室连接，我们是希望该腔室能达到真空状态。当腔室内部的气体分子接触到低温泵内部的低温表面，当低温表面的温度足够低，低到比该气体的饱和蒸气压温度还低时，该气体就会冷凝到表面上，而腔室中该气体分子的数量就减少了，从而获得真空。

具体来讲，多数气体在温度低于20K时，都会被 冷凝 ；而有些气体即使到了20k也无法被冷凝，于是就用另外一种方法-- 吸附 ，比如H2 ，氦气，一般吸附剂用活性炭。所以低温泵里面的冷却塔背面会粘附很多活性炭，就是这个用途。

那么又是什么让泵体里面的温度足够低呢，靠的是压缩机，一般低温泵都会配套一台压缩机，压缩机里面的冷媒是氦气，至于压缩机的怎么工作的，下次有机会再聊聊。

低温泵硬件结构图如下，

各结构的名称和用途如下，

a）1+5+7 = 一级冷阵，保证温度在45-100k；其中障板，通俗的讲就是挡板，样式为斜45度的单层百叶窗，主要作用是保证被抽气体顺利抽走，也能阻挡腔室内部的热量扩散到冷泵内部；

b）2+4+6 = 二级冷阵，保证温度在10-20k；

除了低温之外，要保证温度能够恒定在某一具体值，还需要有加热，所以一级冷阵和二级冷阵内部还有加热器。

实际接触到泵的品牌有CTI 和ULVAC 的。

其中主要展示一下里面的冷却板和吸附剂--活性炭，如下，