微纳技术是指可以处理和制造大小小于米级的物体的技术，特别是针对处理和制造体积小的物体，它是一种让机器通过精确的控制把微米尺度的物体做出来的技术。

微纳米技术（MEMS,nano?technology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nano?science?and?technology,?nano?ST）的简称。是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨大的应用前景，因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视，是当前科技界的热门研究领域之一。

微机电系统技术主要涉及0.1μm到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发，它以单晶硅为基本材料，以光刻并行制造为主要加工特点，采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。

纳米尺度一般是指1～100nm，纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术，纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。