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四象限光电探测器的预对准

使用四象限来完成掩模的预对准可以使系统更经济、紧凑。该系统的精度要求在7mm,可以用四象限来实现。该预对准系统由光源、透镜组,掩模版以及四象限组成,如图3所示,A为LD光源,发射近红外准直激光,波长为650nm,带宽10nm,发散角0.1~0.2mrad,准直扩束后的光束直径为5mm,其具体型号为Sanyo(SD650-80G3)。B为直角棱镜,C为掩模版,D为窄带滤波片,主要作用为滤去背景杂散光,提高系统信噪比;E为直角棱镜;F为四象限,其有效直径为2mm,峰值波长为820nm,具体型号为CentrONic(QD7-5)。其输出功率?40mw,工作温度范围在-25℃~+75℃之间。