三坐标测量机一般由以下几个部分组成：

1、主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）；

2、测头系统；

3、电气控制硬件系统；

4、数据处理软件系统（测量软件）；

基本原理是将被测零件放入它允许的测量空间，精确地测出被测零件表面的点在空间三个坐标位置的数值，将这些点的坐标数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据。