作用：从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。用途：真空泵在石油化工、能源、冶金制造业、食品加工业等领域应用广泛。

真空泵是一种用于产生和维持真空的设备，它广泛应用于各种工业、科研和医疗领域。真空泵的主要作用是将容器内的气体抽出，从而产生低于大气压的真空环境。这种真空环境可以用于各种实验、生产和制造过程中，例如半导体制造、真空冷却、真空干燥、真空蒸馏、真空包装等。

真空泵在半导体制造中起着至关重要的作用。半导体制造需要在极低的压力下进行，以避免杂质和气体对半导体器件的影响。真空泵可以将制造室内的气体抽出，从而产生高度纯净的制造环境。此外，真空泵还可以用于半导体器件的测试和封装过程中，确保器件的质量和稳定性。

发展历史

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统***同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。