检测表面粗糙度的仪器有接触式和非接触式。

1、接触式测量

接触式测量粗糙度仪器是通过机械探针与被测物体表面接触来进行测量的。当机械探针接触到被测表面时，测量系统会记录下机械探针的运动轨迹和力的变化。通过测量探针在表面上的运动和受到的力的变化，可以计算出表面的形貌参数。测量原理中的关键是探针与被测表面的接触和运动，因此需要保证探针的稳定性和精确性。

2、非接触式测量

非接触式测量粗糙度仪器一般采用光学的原理。比如：白光干涉仪利用光干涉的原理，获取物体表面信息，是一种精密测量仪器，能对物体的表面粗糙度进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、6C产品、材料、液晶等领域。测量速率较慢、精度较高；对测量物体无损伤；对材料无要求，软质材料和尖锐产品也可测量。