用露点温度下的饱和水汽压与原温度下的饱和水汽压之比可求得该气体的相对湿度。常用温度传感器测量上述参数。结构最简单的是干湿球温度计。湿球温度是水从包在水银球周围的纱布上蒸发时产生的冷却反应的函数，湿度越大冷却反应越小。使用湿度换算表，可把干、湿球之间的温差换算成相对湿度。这种方法能获得较高的精度，可用于校准湿敏元件和湿度仪表。但是这种测量方法不能满足现代工业技术提出的连续监测和在线测控的要求。因而陆续出现了电解质类、胀缩物类、有机高分子膜类、金属和金属氧化物类、陶瓷类等几十种湿敏元件。并发展了采用微波测量、中子射线测量、红外线测量等技术的水分计。表中简述了几种常用的湿度计（或露点仪）和水分计。

新型陶瓷湿度传感器(见图)以氧化锆－氧化镁陶瓷材料为基体，陶瓷体表面上装有一对氧化钙电极和引线，并绕有发热体。检测温度范围宽（-20～700℃），可靠性和精度较高。