1、准备氦气罐和加氦气的工具；

2、关闭冷泵压缩机的主电源；

3、找到冷泵压缩机的氦气补充阀门，一般位于压缩机顶部或侧面；

4、使用氦气罐连接氦气补充阀门，并打开氦气罐的阀门；

5、打开冷泵压缩机的氦气补充阀门；

6、让氦气缓慢地流入冷泵压缩机中，直到压力达到规定的值；

7、关闭氦气补充阀门和氦气罐的阀门；

8、开启冷泵压缩机的主电源，确保压缩机正常运行。