有毒。全氟辛基三乙氧基硅烷是被认为是有毒的。主要是因为全氟辛基化合物中的全氟辛基官能团被认为是持久性有机污染物（POPs）之一，对人体和环境造成危害。流行病学研究：全氟辛基化合物（包括全氟辛基三乙氧基硅烷的衍生物）被认为具有潜在的人体健康风险。一些流行病学研究与全氟辛基化合物的接触与一些健康问题，如某些癌症、生殖和发育问题，以及肝脏、肾脏和免疫系统的损害之间存在一定关联。