对干燥的氟化氢可以用铜合金、钼、镍、蒙乃尔、因科镍合金、锌、银、金、铂。对潮湿的氟化氢可以使用钼、蒙乃尔、因科镍合金、银、金、铂。也可以使用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。

任何用于HF的装置都应事先经过下列处理，即先用三氯乙烯去脂，用丙酮干燥，用氦检漏，然后在120℃温度下烧烤至少30分钟，同时抽真空至P≤10-2mmHg.接着，装置在真空状态下通F2以钝化金属表面（先充入0.1bar的F2，以后每隔15分钟充入0.1bar的F2气至0.3bar，然后再充至1bar，保持30分钟，再充F2到10bar，并保持几小时）。

在火场中有氟化氢时，可以用水冲射灭火。泄漏出来的液体氟化氢厅用苏打水搅匀后用水冲洗，经稀释的洗水可以放入废水系统。漏出来的气体要用排风机排送至水洗塔或与水洗塔相连的通风橱内。废气可用水吸收或用碱液中和。