为什么EDX能谱分析仪分析不了氢，氦等元素

因为氢氦元素都只有一层电子，而EDX需要激发走内层一个电子，外层电子补进内层的时候发射出X射线从而得到数据，而H\He只有一层电子，没有外层电子跃迁所以没有X射线