中国在2000多年前的战国时期就有了中耕用的铁锄;最早的畜力中耕机械──耧锄约已有700年有历史。 元《王祯农书》载有水田除草松土用的耘荡，明宋应星著《天工开物》载有由多排钉齿和轧辊组成的水田中耕器，这种人力中耕器至今在中国及亚洲其他一些水稻产区仍有使用。弧形齿搅拌土壤时，欧洲在18世纪发明了马拉锄。1856年出现第一台马拉乘坐式中耕机。从20世纪初开始，由拖拉机牵引或悬挂的多行中耕机逐渐发展起来。其中以装有弧形齿的六面体除草轮效果最好。20世纪50年代，中国开始生产新型畜力和机力中耕除草机；60年代以后，发展垄作中耕机和通用机架中耕机；70年代已生产由小汽油机驱动工作部件的水稻中耕机。