扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。
扩散泵要加热一个小时,因为扩散泵没有电机,是通过电炉加热使油蒸发,然后冷凝的一个往复运动,期间将空气通过机械泵排出,这是扩散泵的工作原理。
一边情况下我们建议:机械泵的全压强真空度达到2pa以内,开启电炉,后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作。(加热期间真空度也在提升。开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降)