甲基三氯硅烷（methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform ，缩写为MTS）甲基三氯硅烷别名甲基硅仿；三氯甲基硅烷 分子式 CH3Cl3Si；CH3SiCl3 ；甲基三氯硅烷外观与性状是无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。