1、往复式真空泵的工作介质主要是直接引用自来水，自来水中含有钙和镁的碳酸盐和碳酸氢盐。

2、这些沉淀物附在热表面或粗糙表面上，例如叶轮、管道和冷凝器内，即形成硬水垢。

3、一般情况下，这类结晶可存在于水中，作为往复式真空泵工作介质时，由于气压或温度出现变化，使水变成超饱和，同时部分碳酸盐和碳酸氢盐分解成不溶于水的碱式碳酸盐，造成沉淀物。

4、水垢易堵塞孔道、间隙，把零件接合面粘牢，结垢后的泵不仅抽气速率降低，而且还会导致功耗升高。当积垢几乎填满叶片之间的空间或进排气窗口几乎被水垢堵满时，进排气量也就几乎为零了，往复式真空泵也就失去了抽取真空的作用。