微波烧结的设备对微波烧结技能的开展起着至关主要的效果。H.D.Kimmery等于1988年设计了频率为28Hz的微波延续烧结系统，其场强散布不平均性小于4%；别的，他们针对频率为2.45GHz的微波延续烧结系统，设计了形式搅拌器以进步场散布的平均性。中国科学院沈阳金属研讨所和七七二厂设计的集聚天线鼓励介质多模谐振方案，采用将微波能平均束在烧结区的办法，获得了明显结果。近年来，中科院沈阳金属地点国度新技能“863方案”的赞助下，已研制出多台MFM-863系列的微波烧结设备，其首要功能目标为：电源，380V，50Hz；功率，0.5～10kW延续可调；任务频率， 2.45GHz；任务温度：大于1800℃；烧结区尺寸，120mm*120mm；均匀时耗，0.5～2h/炉。

在工艺方面，H.D.Kimmery等提出了惯例辐射或传导加热与微波直接加热相连系夹杂加热法。H.D.Kimmery在烧结ZrO2（摩尔数分数为8%的Y2O3）时，采用SiC棒作为感热器进行夹杂加热，消弭了ZrO2热掉控。

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