能谱仪（EDS）是用较细聚集的高能电子束照射样品表面所需分析的微区，激发出物质的特征X射线，其能量决定于组成该物质的元素种类，其强度决定元素的含量，能谱仪用半导体探测器检测X射线的能量并按其大小展谱，根据能量大小确定产生该能量特征X射线的元素。

波谱仪（WDS）是用细聚集的高能量电子束照射样品表面所需的分析微区，激发出物质的特征X射线，其波长决定组成该物质的元素种类，其强度决定于元素的含量，波谱仪根据晶体对X射线的衍射效应，利用已知面间距的分光晶体据不同波长的X射线按衍射角展谱，根据角度，由布拉格方程计算出X射线波长，确定产生该波长特征X射线的元素。