依据美国政府颁布的标准,可将无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级:
1级这个级别的无尘车间主要是用来制造一些集成电路的微电子工业,而相对于集成电路的精确要求是亚微米。
10级本级别的洁净室最主要是来加工宽少于2微米的半导体工业。
100级很多人都觉得100级的无尘车间是最常用的,也是最重要的,人们错误的认为100级的洁净室,是为了说明无菌环境的要求比较高。一般来说100级的无尘室是用来对于医药工业的无菌制造,大程度上用在外科手术上,就像它可以用在骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级一般用来生产比较高质量的光学产品。
10000级万级无尘车间很大程度上是用来对液压设备或者是积压设备的装配。当然,在有些时候也会用在食品饮料工业,同时在医工业也很常见。
100000十万级的无尘车间,在很多工业部门都会用到,就像在制造光学产品的时候,有时候也用在比较小的元器件的制造。当然,食品饮料的加工,医药工业的生产也会用到这一级的无尘车间。
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
越排在前面,级别越高,1级是级别最高的,最常见的是百级到十万级。无尘车间的使用要求:保持无尘车间的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。
参考资料: