设置参数步骤如下：

1、调整蒸发源功率时，要考虑镀膜厚度和材料过热的问题。

2、调整离子源功率时，要平衡离子能量和膜层结合力。

3、调整蒸发速率时，避免膜层不均匀和针孔等问题。

4、增加速率可提高膜层质量，过快的速率导致不均匀性。

5、调整膜层厚度和离子束流密度时，要考虑材料浪费、成本增加、膜层过热和结合力等问题。

5、调整镀膜时间时，要找到合理的平衡点，获得较好的膜层质量，避免材料浪费和成本增加。