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精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有

液体静压轴承 、空气静压轴承。

液体静压轴承主轴的主要优点是回转精度高、刚度高、转动平稳、无振动;空气静压轴承的优点是摩擦因数小、工作寿命长、温度分布较均匀。

空气静压轴承主轴与液体静压轴承主轴相比,主轴回转精度高,更适用于超精密加工。