臭氧发生器主要有三种：高压放电式、紫外线照射式、电解式。

比如是消毒柜的低温杀毒就是利用了高压放电管（臭氧发生器）激发空气而产生O3。

激发器将220V的电变换成峰值为3000V以上的脉冲电压，通过高压击穿玻璃臭氧管内的气体，使电火花与管外的金属网表面的空气发生电离而产生O3。

臭氧发生器可以用在多个领域中，每个领域中都有不同的原理。