负载太大,分子泵叶片破碎。
1、负载太大。分子泵系统真空度不够,负载太大,导致在运行高真空时搞真空没有了,降低负载即可解决问题。
2、分子泵叶片破碎。分子泵的叶片破碎,导致导致在运行高真空时搞真空没有了,更换破碎的叶片即可解决问题。