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晶圆测试探针台上下移动左右针偏

晶圆测试探针台上下移动左右针偏的原因如下:

1、探针台机械问题:上下移动和左右移动探针台时,探针台出现偏移,是由探针台部件误差或者使用寿命、加工质量较差等原因导致,更换或维修探针台部件以解决该问题。

2、半导体晶圆加工质量问题:探针接触半导体晶圆表面时,如果晶圆表面不平滑,探针可能会产生针偏现象。

3、软件程序或操作问题:上下移动和左右移动探针台时,操作人员没有正确执行相关的程序或者操作方式不当,针偏的情况会发生。

晶圆测试探针台是半导体制造过程中进行电学测试的设备之一。其主要作用是将测试针头与晶圆表面接触,进行电学参数测试,如电阻、电容等。