精密仪器有：几何量精密仪器、热工量精密仪器、机械量精密仪器、时间频率精密仪器、电磁精密仪器。

1、几何量精密仪器

主要包括检测各种几何量的精密仪器，如立式测角仪、激光干涉比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等测量仪器。

2、热工量精密仪器

主要包括温度、湿度、压力、流量检测精密仪器，如各种气压计、真空计、多波长测温仪表、流量计和高度表等。

3、机械量精密仪器

主要包括各种测力仪器、应变仪、加速度与速度测量仪、转矩测量仪、振动测量仪、万能材料实验机和布氏硬度计等。

4、时间频率精密仪器

主要包括各种计时仪器与仪表、原子钟、时间频率测量仪等。

5、电磁精密仪器

主要用于测量各种电量和磁量，如电流表、电压表、功率表、电阻测量仪、电容测量仪、静电仪和磁参数测量仪等。

以上内容参考：百度百科-精密仪器