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MOCVD 운영자, 미래는 무엇입니까? 이 일은 기술적인 것이 아닙니까
GaAs MMIC, InP MMIC, GaN Blu-ray LED 와 같은 화합물 반도체 부품 시장이 확대됨에 따라 MOCVD 시스템에 대한 수요가 커지고 있습니다. 현재 세계에서 가장 유력한 MOCVD 시스템 제조업체는 독일의 에즈강, 미국의 Emcore, 영국의 Thomas ~ (1999 는 에즈강에 의해 합병됨) 입니다. MOCVD 시스템의 핵심 문제는 재료 성장의 균일성과 반복성을 보장하는 것이기 때문에 여러 업체의 MOCVD 시스템의 주요 차이점은 반응실의 구조에 있다. Aixtron 은 행성반응기를 채택하고, Emcore 는 터빈 디스크 반응실 (비즈니스는 Veeeo 에 판매됨), Thomas Swan (2003 년 2 월 Aixtron 에 합병됨) 은 폐쇄 커플링 스프레이 (CCS) 반응실을 채택하고 있다. 현재 국내에서 수입되는 MOCVD 시스템은 약 200 대, 그 중 Aixtron MOCVD 시스템과 Emcore MOCVD 시스템이 대다수를 차지하고 있으며, 소수의 Thomas Swan MOCVD 시스템, 프랑스 ASM MOCVD 시스템, 일본 RIPPON SANSO MOCVD 시스템이 주로 ganld/LD 에 사용되고 있다