니콘의 마스크판 리소그래피 기계는 14nm 공정을 지원합니다. 마스크 정렬 노출기, 노출 시스템 및 리소그래피 시스템이라고도 하는 리소그래피 기계는 칩을 만드는 핵심 장비입니다. 사진 인쇄와 유사한 기술을 사용하여 노출을 통해 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 조각에 인쇄합니다. 리소그래피 기계 브랜드는 매우 다양하며, 기술 노선에 따라 다음과 같은 범주로 나눌 수 있습니다. 하이 엔드 프로젝션 리소그래피는 스텝프로젝션과 스캔 프로젝션 리소그래피로 나뉘며, 해상도는 보통 7 나노미터에서 몇 미크론 사이입니다. 최고급 리소그래피 기계는 세계에서 가장 정교한 기기라고 불리며, 세계에는 가격12 억 달러의 리소그래피 기계가 있다. 하이 엔드 리소그래피 기계는 현대 광학 산업의 꽃이라고 할 수 있으며 제조가 매우 어렵습니다. 전 세계 소수의 회사만이 제조할 수 있습니다. 외국 브랜드는 주로 네덜란드의 아스맥 (독일 카메라), 일본의 니콘 (고급 리소그래피 기계, 인텔에서 니콘을 산 적이 있음), 일본의 캐논이다. 중국 상하이에 위치한 SMEE 는 자주지적재산권을 지닌 투영식 중급형 리소그래피 기계를 개발해 제품 라인을 형성하며 국내외 판매를 초보적으로 실현하였다. R&D 및 기타 제품군의 생산이 진행 중입니다. 생산 라인 및 R&D 용 로우 엔드 리소그래피기는 일반적으로 해상도가 몇 미크론 이상인 근접 및 접촉 리소그래피기입니다. 주로 독일 sus, 미국 MYCRONXQ4006, 중국 브랜드가 있습니다.