상해에서 측정한 전자빔이 좋다. 관련 자료에 따르면 상해가 정밀하게 측정한 전자빔 기술은 고감도를 가지고 있어 특정 표면의 물리적 특성에 영향을 받지 않고 게이트 에칭 잔류물과 같은 작은 표면 결함을 감지할 수 있다. 동양 결정체의 전자빔 응용 범위는 작고 검출 속도는 느리다.